靜電產生的方式:接觸-分離;摩擦;剝離;傳導。
安全第一:防靜電措施是否與安全措施相沖突。
防護手段:接地-等電位連接; 靜電源控制;防靜電包裝。
關注的要點:產品靜電敏感度要求;防護標準匹配度;符合性驗證。
金屬材料:
1、產品處于等電位的情況下可直接使用金屬材料。
2、單顆產品不會與金屬材料直接接觸的情況下可以使用金屬材質的材料。
因整條產品加工過程框架,晶圓使用非防靜電膜,且有些設備中無法配置離子風機過程中會產生靜電累積,那除了加裝離子風機外我們會選用一些導電快的材料,讓靜電快速導走。
可以,但靜電消散很慢,會有靜電累積的風險,在切割時會產生放電,對產品有很大的ESD損傷風險。
靜電材料:切割分離后單顆產品,出貨包裝產品,可以使用靜電材料。
因切割分離后的產品比較敏感,抗靜電能力比較弱,如果用金屬材質會因導電過快造成產品ESD損傷(因與產品直接接觸后會迅速產生放電現象),使用靜電材料會有限壓作用,與產品接觸后降低產品ESD損傷風險。
接地—等電位連接:與敏感器件接觸的導體實現等電位連接,避免因導體帶靜電發生放電。
靜電源控制:絕緣材料的靜電通過接地和等電位連接無法消除,因此必須對敏感器件周邊進行靜電源控制。
防靜電包裝:運出ESD防護區的器件必須使用防靜電包裝,以防外界靜電源的影響。
靜電防護的核心是,靜電消除:對于可能產生靜電的地方要防止靜電積累。我們采取,使靜電邊產生,邊泄放。并將靜電電壓控制在安全范圍。對已經存在的靜電積聚消除掉,及時釋放。
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