操作員：人是最大的靜電源。人們在行走和工作時會產(chǎn)生靜電，觸摸或接近微電子設(shè)備時可能會產(chǎn)生靜電。為減少人為因素，您必須穿著防靜電服，手套和防靜電鞋，戴上防靜電手鏈/腳鏈并可靠接地。養(yǎng)成良好的工作習(xí)慣，并在沒有防靜電措施或不完善措施的情況下遠離靜電敏感產(chǎn)品。
設(shè)備：為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力，許多過程使用自動化設(shè)備。這些設(shè)備的運行會產(chǎn)生大量靜電。在微電子設(shè)備的處理期間，各種過程將釋放靜電，并且大量微電子設(shè)備將發(fā)生故障。所有設(shè)備，儀器，手術(shù)臺，凳子和架子都必須可靠接地。移動旋轉(zhuǎn)手推車等。還應(yīng)通過安裝靜電釋放裝置將其接地。
材料：工作臺面和周轉(zhuǎn)箱/包裝箱在操作環(huán)境中均由抗靜電/導(dǎo)電材料制成。
環(huán)境：靜電的產(chǎn)生與環(huán)境濕度成正比，即濕度越高，產(chǎn)生的靜電越少。但是，高濕度環(huán)境很容易導(dǎo)致生銹和腐蝕。綜合考慮，電子生產(chǎn)車間的濕度通常保持在30％-70％RH。此外，離子風(fēng)扇還可用于中和靜電荷。
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