通常，基建成本和勞力開支控制著多數(shù)潔凈室制造過程的經(jīng)營成本。在半導(dǎo)體制造業(yè)里，特別是基建成本加上很多耗資巨大但又迅速老化、需要頻繁更新或替換的工藝設(shè)備成本，顯然是最大的一筆費用。
然而，耗材的費用有時能夠也成為主要的開支甚至是占主導(dǎo)地位的，它是在制造產(chǎn)品過程中耗費的材料。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，耗材包括超純凈水、工藝用氣、光刻膠CMP膠液、抹布和手套。可以認為, 除手套之外, 昂貴的CMP膠液是CMP擁有者手中昂貴的部分。
半導(dǎo)體潔凈室制造廠的工人佩帶手套，保護產(chǎn)品在操作中免受污染，同時也保護工人自己免于暴露在用于半導(dǎo)體工藝中的化學(xué)制品中。這些手套多是一次性的，用完一次后，就丟掉了。工人們每次帶上一付新的手套，由于各種原因手套最終會被摘掉。 工人們每次換班基本上要使用四副手套，每次換班花費大約是每人一美元左右。全世界共有一百多萬半導(dǎo)體工作者, 一次性的潔凈室手套第年花費了大概十多億美元。通常代表半導(dǎo)體制造商的昂貴的耗材，卻不是那部分直接用到工藝產(chǎn)品上的物品或材料。
丁腈的抵抗力和強度：常用的一次性潔凈室手套由丁腈制成。丁腈聚合物包括三個成分: 丙烯腈、丁二烯和羥基酸。丙烯腈提供對烴油、脂肪和溶劑的抵抗力；丁二烯對成品手套提供類似橡膠的特性；羥基酸增加抗張強度和耐腐蝕、抗扯強度。 最后一步是佩戴丁腈手套，然后從穿衣區(qū)進入潔凈室。丁腈手套可以佩帶在外衣手套上面，可在從外面走向穿衣區(qū)之前佩戴以及在穿衣過程中佩戴，或者僅僅是換下外衣手套，直接戴在裸著的雙手上而沒有任何的襯墊。在任何一種情況下，腈手套一經(jīng)使用后就丟掉。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)真正需要的是一種經(jīng)濟的實用的過程，轉(zhuǎn)換使用過、被拋棄的潔凈室腈手套，變成一種有用的副產(chǎn)物，或一個有價值的、可再利用的資源──對于手套的再利用的結(jié)果是半導(dǎo)體工作者收入的增加，以 避免這些手套的浪費和垃圾填埋處置的花費。 使用被拋棄的手套作為原料，做新的腈手套是明顯可行的，洗滌用過的手套再用。兩種選擇現(xiàn)在都沒被實踐過；毫無疑問，是由于明顯的經(jīng)濟原因。重復(fù)利用CMP膠液是更加緊迫的經(jīng)濟需要，特別是因為隨著使用銅操作的CMP對更新、更加昂貴的膠液的使用的增長，以及預(yù)計易碎的、低電容率涂層會在未來半導(dǎo)體生產(chǎn)中的需求增長。很高興膠液的循環(huán)再次得到關(guān)注。 參考文獻1報告了用過的膠液的“再生”，表現(xiàn)的和普通膠液一樣，該文援引一九九七年專利，混和用過的和新鮮的膠液“極大地節(jié)省了”新鮮膠液的用量，同時性能與100%新鮮膠液一樣。 此外，二零零一年國際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展報告預(yù)計，他們題為"開發(fā)CMP膠液再循環(huán)"的任務(wù)今年將進入鑒定、預(yù)生產(chǎn)階段。 重復(fù)利用耗材, 而不是拋棄它們, 提供了雙贏的情形──這項產(chǎn)業(yè)在降低成本的同時為更加保護綠色環(huán)境提供了另一條途徑。
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