依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可將潔凈室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果潔凈室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，潔凈室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。
據查詢潔凈室等級標準的版本較多，于是小編就整理兩個較常用的劃分標準，分別是國際標準IOS14644-1、中國標準GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：
空氣潔凈度分級標準：IOS14644-1（國際標準）
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空氣潔凈度等級（N）
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大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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ISO Class 1
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10
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2
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ISO Class 2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class 3
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1000
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237
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102
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35
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8
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ISO Class 4
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10000
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2370
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1020
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352
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83
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ISO Class 5
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100000
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23700
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10200
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3520
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832
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29
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ISO Class 6
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1000000
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237000
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102000
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35200
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8320
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293
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ISO Class 7
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352000
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83200
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2930
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ISO Class 8
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3520000
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832000
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29300
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ISO Class 9
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35200000
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8320000
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293000
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注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平
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注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平
空氣潔凈度分級標準：GB/T16292-1996（中國標準）
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粒徑、數值潔凈度級別
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塵埃最大允許數/立方米
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微生物最大允許數
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≥0.5um
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≥5um
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浮游菌/立方米
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沉降菌/皿
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100級
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3500
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0
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5
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1
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10000級
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350000
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2000
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100
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3
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100000級
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3500000
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20000
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500
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10
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300000級
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10500000
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60000
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-
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15
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亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級為1,000-100,000級的。
優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室擴充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達要求的潔凈度，需耗時相當長一段時間。
層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需求較高的環境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。
其型式可分為二種：
?無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般下流側污染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
?無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易受作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
復合式(Mixed Type)：
復合式是將亂流式及層流式予以復合并用，可提供局部超潔凈空氣。
無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，超大規模集成電路生產大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。
無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。
無塵車間并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將亂流潔凈室內的產品生產區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產用。
若想檢驗潔凈室是否達到應用標準，大家可以先從遮蔽率；風速、溫濕度；壓差、構成要求這四個方面考慮：
遮蔽率
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無塵等級
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Air Change（次/hr）
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HEPA遮蔽率
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Class 100
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240-480
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50%-100%
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Class 1000
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17-240
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10%-35%
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Class 10000
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10
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8%-10%
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AirChange：FFU的表面積*風速*FFU數量/潔凈室體積
HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數量/潔凈室面積
風速、溫濕度
氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）
一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃
一般濕度控制范圍：（45±5）%RH
壓差
在兩個潔凈室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在潔凈室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。
構成要求
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子
C.吸濕性小
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高
官方分享 （新塵電子）→〈潔凈室有哪些等級,無塵布該如何選擇？〉
本文地址：http://www25c5.com/news/mstui/1072.html
文章均由 （新塵電子） 公司整理發布，文章資料僅供參考，轉載請標明出處。謝謝！
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